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http://dx.doi.org/10.25673/3882| Titel: | Untersuchungen zur ionenstromangepassten Prozessführung und zu Verfahrensvarianten im gepulsten Vakuumbogen-Beschichtungsprozess |
| Sonstige Titel: | Investigations on ion current adapted processing and process modifications in a pulsed vacuum arc deposition process |
| Autor(en): | Fuchs, Henning |
| Körperschaft: | Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg |
| Erscheinungsdatum: | 2004 |
| Umfang: | Online-Ressource (PDF-Datei: 149 S., 5785 KB) |
| Typ: | Hochschulschrift |
| Art: | Dissertation |
| Sprache: | Deutsch |
| Herausgeber: | Universitätsbibliothek Otto von Guericke University Library, Magdeburg, Germany |
| URN: | urn:nbn:de:101:1-201010123141 |
| Schlagwörter: | Hochschulschrift Online-Publikation |
| URI: | https://opendata.uni-halle.de//handle/1981185920/10597 http://dx.doi.org/10.25673/3882 |
| Open-Access: |  Open-Access-Publikation |
| Enthalten in den Sammlungen: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
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